光刻機(jī)的選擇使用需要注意很多事項(xiàng)，下面就隨著成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司一起來(lái)看看吧！

光刻機(jī)一般來(lái)說(shuō)是用激光。例如要在玻璃上刻蝕圖形，步驟為：清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蝕劑、干燥、曝光、去膠、清洗、轉(zhuǎn)移。實(shí)際上，光刻機(jī)的使用方法和具體步驟相當(dāng)復(fù)雜,對(duì)環(huán)境要求也非常高,以上只是基本步驟,讓你有一個(gè)大致的了解。但是市面上的品牌眾多，要怎么去選擇呢？成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司幫你分析；

光刻機(jī)的品牌眾多，根據(jù)采用不同技術(shù)路線(xiàn)的可以歸納成如下幾類(lèi)：

高端的投影式光刻機(jī)可分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種，分辨率通常在十幾納米至幾微米之間，高端光刻機(jī)號(hào)稱(chēng)**上*精密的儀器，**上已有7000萬(wàn)美金的光刻機(jī)。高端光刻機(jī)堪稱(chēng)現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花，其制造難度之大，全**只有少數(shù)幾家公司能夠制造。國(guó)外品牌主要以荷蘭ASML（鏡頭來(lái)自德國(guó)），日本Nikon（intel曾經(jīng)購(gòu)買(mǎi)過(guò)Nikon的高端光刻機(jī)）和日本Canon三大品牌為主。

位于我國(guó)上海的SMEE已研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的投影式中端光刻機(jī)，形成產(chǎn)品系列初步實(shí)現(xiàn)海內(nèi)外銷(xiāo)售。目前正在進(jìn)行其他各系列產(chǎn)品的研發(fā)制作工作。

生產(chǎn)線(xiàn)和研發(fā)用的低端光刻機(jī)為接近、接觸式光刻機(jī)，分辨率通常在數(shù)微米以上。主要有德國(guó)SUSS、美國(guó)MYCRO NXQ4006、以及中國(guó)品牌。

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